일본 학자 오모리 등은 1987년부터 초정밀 연삭 휠을 연구하여 ELID(Electrolytic In Process Dressing)를 이용한 연삭 방법을 개발하여 경질 및 취성 재료의 고급 경면 연삭 및 연성 연삭을 실현했습니다. , 현재 이 방법은 구면, 비구면 렌즈 및 금형의 초정밀 가공에 성공적으로 적용되었습니다.
① ELID 미러 연삭 원리
ELID 연삭 시스템에는 금속 본드 초미립 초경질 연삭 휠, 전해 드레싱 전원, 전해 드레싱 전극, 전해질(연삭액으로도 사용됨), 전기 브러시 및 공작 기계 장비가 포함됩니다. 연삭 공정에서 연삭 휠은 전동 브러시를 통해 전원의 양극에 연결되고 공작 기계에 설치된 드레싱 전극은 전원의 음극에 연결되며 연삭 사이에 전해액이 부어집니다. 전원 공급 장치, 연삭 휠, 전극, 연삭 휠 및 전극 사이의 전해질이 완전한 전기 화학 시스템을 형성하도록 휠과 전극.
ELID 그라인딩을 사용할 때 그라인딩 휠, 전원 공급 장치 및 전해질에 대한 몇 가지 특별한 요구 사항이 있습니다.
그라인딩 휠의 결합제는 우수한 전기 전도성과 전기 분해가 필요하며 결합제 요소의 수산화물 또는 산화물은 비전도성이며 물에 불용성입니다. ELID 연삭에 사용되는 전원은 전해 가공의 DC 전원이나 다양한 Waveform 펄스 전원 또는 DC 기반 펄스 전원을 사용할 수 있습니다. ELID 그라인딩 공정에서 전해액은 그라인딩 유체 역할을 할 뿐만 아니라 그라인딩 영역의 온도를 낮추고 마찰을 줄이는 역할도 합니다. ELID 연삭은 일반적으로 수용성 연삭액을 사용하며 본드 기반 연삭 휠을 사용하는 공작 기계입니다. 적절한 전기분해량을 설정하여 강도가 높고 연삭숫돌 마모가 적습니다. 동시에 높은 형상 정확도를 얻을 수 있습니다. 이 원리를 적용하여 평면에서 비구면에 이르기까지 다양한 형태의 광학 부품에 대한 초정밀 경면 연삭을 실현할 수 있습니다.
②ELID 경면연삭 실험장치
랭크뉴모컴퍼니의 ASG-2500T 공작기계에는 연삭숫돌, 전원, 전극, 연삭액 등으로 구성된 오모리 ELID 시스템을 설치하여 조성형용 400#, 1000# 또는 2000#을 사용한다. 반제품용. 경면연삭시 4000#(평균입자크기 약 4μm) 또는 8000#(평균입자크기 약 2μm) 주철 본드 다이아몬드 연삭숫돌, 전기분해 샤프닝전원(ELID전원), DC고주파펄스전압 사용 Type 특수 전원 공급 장치, 작동 전압은 60V, 전류는 10A입니다. 연삭액을 사용하는 경우 수용성 연삭액 AFH-M 및 CEM을 순수로 50배 희석해야 합니다.
③ ELID 경면연삭 실험방법 및 실험결과
비구면 가공의 경우 공작물 샤프트에 설치된 그릇 모양의 연삭 휠(325# 주철 본드 다이아몬드 연삭 휠은 φ30×W2mm)에 의해서만 평면 연삭 휠이 형성되고 통합됩니다. 황삭 및 1000# 반정삭, 마지막으로 ELID 경면 연삭에 4000# 사용. 초정밀 비구면 가공기에서 ELID 연삭 기술의 도움으로 광학 유리 BK-7 비구면 렌즈가 성공적으로 가공되었습니다. . 표면 정확도는 o보다 우수합니다. 2μm, 표면 거칠기는 Ra20nm에 도달하고 LASFN30 및 Ge와 같은 약간 부드러운 재료의 비구면 표면 처리의 경우 표면 정확도도 O보다 우수할 수 있습니다. 2-O. 3μm, Ra30nm까지 표면 거칠기.