1972년 미국의 Union Carbide Company는 R-θ 모드 비구면 생성 가공 기계를 성공적으로 개발했습니다. 이것은 위치 피드백이 있는 이중 좌표 CNC 선반으로 공구 시트 가이드 레일의 회전 각도 θ와 반경 R을 실시간으로 변경하여 비구면의 경면 가공을 달성할 수 있습니다. 가공 직경은 최대 φ380mm이며 가공물의 형상 정도는 ±O입니다. 63μm, 표면 거칠기는 Ra0.025μm입니다.
Moore Company는 1980년에 3좌표로 제어되는 M-18AG 비구면 가공 공작 기계를 처음 개발했습니다. 이 공작 기계는 직경 356mm의 다양한 비구면 금속 미러를 가공할 수 있습니다.
영국 회사인 Rank Pneumo는 1980년에 레이저 피드백 제어의 사용을 시장에 소개했습니다.
2축 연결 가공 공작 기계(MSG-325), 공작 기계는 직경 350mm의 비구면 금속 거울을 처리할 수 있으며 공작물의 형상 정확도는 0입니다.{ {4}}.5μm이고 표면 거칠기 Ra는 0.01-O입니다. 025μm. 그 후 ASG2500, ASG2500T, Nanoform300 및 기타 공작 기계가 출시되었습니다. 위에서 언급한 공작기계를 기반으로 회사는 1990년에 Nanoform600을 개발했습니다. 이 공작기계는 직경 600mm의 비구면 거울을 가공할 수 있으며 가공된 공작물의 형상 정확도는 0.1μm보다 우수하며 표면 거칠기는 0.01μm보다 우수합니다.
오늘날 회원의 높은 수준을 대표하는 초정밀 다이아몬드 선반은 American Lawrence입니다. 1984년 리버모어(LLNL) 연구소에서 성공적으로 개발한 LODTM은 직경 2100mm, 무게 4500kg의 공작물을 가공할 수 있으며 가공 정확도는 0.25μm, 표면 거칠기는 RaO . 0076μm의 기계는 평면, 구면 및 비구면을 가공할 수 있으며 주로 레이저 융합 공학에 필요한 부품, 적외선 장치용 부품 및 대형 천체 거울 가공에 사용됩니다.
영국 크랜필드 대학교 정밀 공학 연구소(CUPE)에서 개발한 대형 초정밀 다이아몬드
오른쪽 미러 절단기는 대형 X선 천체 망원경용 비구면 미러(최대 직경 1400mm, 최대 길이 600mm의 원뿔형 미러)를 가공할 수 있습니다. X선 망원경의 내부 자이로 포물면과 외부 자이로 쌍곡면 거울을 가공할 수 있는 다이아몬드 절단기 개발도 성공했다.
일본에서 개발된 초정밀 가공 공작기계는 민수품에 필요한 렌즈와 거울 가공에 주로 사용된다. 현재 일본에서 생산되는 가공 공작 기계에는 Toshiba Machinery가 개발한 ULG-l00A(H) Fujikoshi ASP-L15, Toyota Koki AHN10, AHN30×25, AHN60—3D 비구면 가공 공작 기계 등이 있습니다. .